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【新品预览】C53 iComLine电动控制阀


半导体工业对阀门、测量和控制系统提出了严格的要求。为此,阀门专家GEMÜ开发了GEMÜ C53 iComLine电动控制阀。

 

构造和应用

 

两位两通柱塞隔膜阀GEMÜ C53 iComLine是为半导体生产中精密和高要求的控制应用而开发的。阀门的密封概念基于久经考验的GEMÜ PD设计,执行机构和介质由一个由耐磨的聚四氟乙烯调节锥隔开。GEMÜ C53 iComLine可根据客户要求定制调节锥、执行机构行程和连接尺寸,满足高科技半导体行业几乎所有的控制和流量要求。由于精密步进电机与超纯阀体材料的结合,该阀特别适用于光刻、CMP和蚀刻工艺,以及在半导体生产工艺分析领域的应用。

 

优势与特点

 

GEMÜ C53 iComLine不仅有标准的两位两通结构,它也可以集成到GEMÜ PC50 iComLine 多通道阀体中,以便用最小的空间实现复杂的流程图。例如,当加工硅片时,可以在FOUP清洗机中使用多端口阀块来控制去离子水的温度。此外,止回阀和传感器可以集成到GEMÜ PCi50 iComLine 多通道阀体中。

 

目前GEMÜ C53 iComLine尚未在国内销售,想要获得更多相关信息请持续关注盖米阀门(中国)服务号。