在硅晶圆制造过程中，晶圆需依次流经多个化学槽。为确保工艺稳定性，槽内液体介质的浓度与温度必须始终维持在恒定水平。这不仅依赖于通过测量阀进行的持续监控，更离不开严谨的采样分析与快速响应流程。

为此，先进的PC控制分析与自动化系统应运而生。该系统专为洁净室环境设计，能够对工艺流体、电镀电解液及清洗槽进行实时监测与精确补加，是微芯片生产的核心环节。

核心任务：智能补液

在微芯片生产中，化学品浓度会随时间逐渐降低。为补偿这一损耗，系统需执行精准的“补液”操作，即按需注入特定组分。

盖米阀门是执行此循环补液过程的关键执行元件。针对每种介质混合物或独立槽体，系统均配置专用的阀门以确保流量的精准控制。

        关键工艺参数

• 工作介质：介质混合物（压力 3 bar）

• 流量范围：80 – 200 ml/min

• 阀体材质：PVDF

        其他特殊功能

• 高度集成：内置 3 个常闭型（NC）阀门和 2 个手动阀门

• 安全设计：配备 2 个带可锁定手柄的手动阀门

（工艺流程示意图）

盖米定制化解决方案

带安全回路的GEMÜ PC50多通道阀

        优势一览

• 一体化交付：提供完整的预组装系统，降低现场集成风险

• 高可靠性：显著提升工艺运行的稳定性

• 紧凑设计：优化空间布局，节省洁净室宝贵的安装面积

• 高效部署：安装周期短，操作简便直观

• 精细调控：集成针阀与节流阀，实现对微量流体的精细化调节

  
  

凭借这套基于分析结果的定制化解决方案，盖米利用高效集成的多通道阀和安全回路设计，有效解决了微芯片生产中工艺介质浓度控制的难题。

这不仅确保了补加过程的精准与稳定，更通过紧凑的预组装系统简化了现场安装与维护，为洁净室环境下的高效生产提供了可靠保障。如需了解针对您具体工艺需求的详细方案，欢迎联系盖米阀门中国。