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盖米集成式解决方案|FOUP清洗机的阀门应用

时间:2024-03-29    访问量:256
盖米集成式解决方案|FOUP清洗机的阀门应用

前开式晶圆传送盒FOUP(Front Opening Unified Pod),是半导体制程中被用来保护、运送并储存晶圆的一种容器。在自动化单晶圆制程中,频繁地运输会形成(灰尘)颗粒,然后沉积在晶圆上。为防止这种情况,则需要定期清洗FOUP。

盖米阀门中国.jpg

在清洗 FOUP 时,必须尽可能保持高效率,以避免晶圆制造过程中出现停机的状况。因此,该工艺对所使用的阀门、测量和控制系统提出了严格的要求。

工|艺|要|求

所有与介质接触的部件必须由超纯氟塑料制成

在各种混合条件下处理介质(气体和去离子水)

通过持续检查运行参数,可靠地混合所使用的清洗介质(不同的温度、混合条件等)

所用的阀门、测量和控制系统设计紧凑

清洗FOUP的关键点就是需要对清洗介质进行精确控制。盖米为此提供了解决方案——将采用创新PD设计和带步进电机的高分辨率直行程执行器的盖米阀门GEMÜ C53 iComLine(电动控制阀)集成于GEMÜ PC50多通道阀,其可实现调节两个不同的输入温度,以确保恒定的输出温度,并可防止潜在的回流(如下图所示)。

盖米阀门 PC50 iComLine多通道解决方案.jpg



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