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盖米超纯系列 你的洁净之选

时间:2023-07-28    访问量:256

半导体在现代电子设备中扮演着重要的角色,它们被广泛用于手机、汽车、医疗设备、工业控制系统等领域。半导体技术正在改变我们的生活和工作方式,是经济与科技发展的基石。

盖米阀门半导体行业产品

在许多高科技领域,过程介质的纯净度也或多或少决定了产品的质量与产能。自1988年起,盖米就具有可应用于微电子半导体行业的超纯阀门产品,更是在2012年重新建立了更高规格的洁净室。

上期介绍了盖米瑞士洁净室的制造优势,本期将为你介绍已成功应用于全球半导体行业、备受用户青睐的盖米超纯系列产品。

GEMÜ CleanStar系列

盖米GEMÜ CleanStar系列超纯隔膜式阀门,适用于颗粒介质物,以尺寸全、流量大而备受欢迎。

由于近年来晶圆直径越来越大,所需的工艺介质数量也随之增加。与此同时,微芯片应用对于研磨液slurry介质的纯度要求越来越高。为了满足日益增长的需求,盖米扩大产品系列,在原有基础上,增加了四号执行器,流量范围进一步提升。

盖米阀门GEMÜ CleanStar系列--GEMÜ C60/c67

GEMÜ iComLine系列

盖米GEMÜ iComLine系列为柱塞式阀门,设计紧凑,多种执行器可选(电动、手动、气动)。GEMÜ C50、C51、C57和C53均为超纯两位两通阀。所有与介质接触的部件均由PFA或PTFE制成,可满足超纯需求。

盖米阀门GEMÜ iComLine系列GEMÜ C50/C51/C57

其中盖米阀门GEMÜ C53是为半导体生产中精密和高要求的控制应用而开发的。其有多种调节锥、执行机构行程和连接尺寸可选,满足高科技半导体行业几乎所有的控制和流量要求。

即将推出的盖米GEMÜ C58则是超纯三位两通阀(换向阀),它有一个进口和两个可切换的出口,因此它也可以在相反的流向上操作,特别适用于介质供应或半导体生产工艺领域的应用。

盖米阀门GEMÜ iComLine系列GEMÜ C53/C58


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